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FD-150A立式減薄機(晶圓減薄機)

FD-150A立式減薄機(晶圓減薄機)


減薄機-硅片,藍寶石,玻璃,陶瓷,鉭酸鋰等半導(dǎo)體材料的快速減薄

  • 所屬系列:減薄機
  • 產(chǎn)品型號:FD-150A
訂購熱線:0755-26527403

立式減薄機(FD-150A,F(xiàn)D-200A,F(xiàn)D-300A,F(xiàn)D550A晶圓減薄機)

主要用途:
本設(shè)備主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、鉭酸鋰,石墨烯,硫化銦等其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的高速減薄。
立式減薄機主要特點:
1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。。
2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
3、砂輪進給模式分三段設(shè)置,能更方便地設(shè)置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,
4、對刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下,針對不同厚度的工件只需要一次對刀就可以連續(xù)工作,不需要每次都要對刀。
5、本機采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動,可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。
6、本機采用國際先進品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現(xiàn)人機對話,操作簡單一目了然。
7、設(shè)備可檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。

8、氣壓壓力檢測傳感器,當(dāng)氣壓小于設(shè)備設(shè)置的正常加工 需的最小壓力時設(shè)備報警,防止工件吸不牢。

9、砂輪扭矩控制,當(dāng)扭矩高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn) 生的扭矩時設(shè)備報警,防止設(shè)備異常或者誤操作時撞刀損壞機器配件。

10、砂輪電流監(jiān)測,當(dāng)冷砂輪高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn) 生的最大電流時砂輪回彈,回彈距離可調(diào),防止砂輪擠壓工件 造成損壞。

11、磨輪損耗量的自動補償,防止因砂輪在磨削產(chǎn)品的同時 產(chǎn)生的消耗影響工件的加工精度。

12、設(shè)備可根據(jù)客戶需求選擇加裝砂輪在線修整功能。

13、設(shè)備可根據(jù)客戶需求選擇加裝在線測厚功能

減薄效率:減薄效率高,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度最高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度最高可減薄250微米。


該設(shè)備減薄效果圖:

硅片減薄到50um的厚度效果

設(shè)備圖片:

柜式減薄機



技術(shù)參數(shù):

型號

FD-150A

FD-200A

FD-300A

FD-550A

有效真空尺寸

Φ150mm

Φ200mm

Φ300mm

Φ550mm

吸盤轉(zhuǎn)速(連續(xù)可調(diào))

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

吸盤電機功率

2.2KW 380V 3相

2.2KW 380V 3相

2.2KW 380V 3相

2.2KW 380V 3相

光柵控制系統(tǒng)

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

     分辨率0.0005mm

磨輪轉(zhuǎn)速

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

磨輪馬達功率

5.5KW

5.5kw

5.5kw

5.5kw

產(chǎn)品減薄后平行度

≤3um

≤3um

≤3um

≤3um

產(chǎn)品減薄后厚度誤差

≤3um

≤3um

≤3um

≤3um

產(chǎn)品減薄后平面度

≤2um

≤2um

≤2um

≤2um

產(chǎn)品最小減薄厚度

≥100um

≥100um

≥100um

≥100um

磨輪重復(fù)定位精度

1um

1um

1um

1um

磨輪最小設(shè)定步距

0.1um/s

0.1um/s

0.1um/s

0.1um/s

水箱尺寸

780*480*550mm

780*480*550mm

780*480*550mm

780*480*550mm

外形尺寸

1010*1210*2070mm

1010*1210*2070mm

1010*1210*2070mm

1200*1350*2070mm

重量

1200KG

1200KG

1200KG

1280KG


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